Разрубить EUV-узел / Искусственный интеллект
Фотолитограф на базе источника экстремального ультрафиолетового излучения (EUV), оптическая система которого характеризуется высокой числовой апертурой (High-NA; характерное значение этой самой апертуры здесь — 0,55 против 0,33 у прежних EUV-машин), —…
